大陸首台光刻機「羲之」問世

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中國大陸首台國產商業「電子束光刻機」「羲之」日前傳出已進入應用測試，大陸媒體表示，精度和國際主流設備並駕齊驅，被譽為「量子晶片」研發的「中國刻刀」。


根據《杭州日報》14日報導，浙江大學餘杭量子研究院相關團隊在測試現場緊張忙碌，一台模樣酷似大型鋼櫃的機器正在做應用測試，電子顯示幕上不斷閃爍即時參數。

「這不是普通的機器，而是一支能在頭髮絲上雕刻出整座城市地圖的納米神筆！」團隊負責人告訴《杭州日報》記者，這台餘杭量子研究院自主研發的新一代電子束光刻機「羲之」已正式投入市場。

研發團隊介紹，「羲之」取名自書法家王羲之，「只不過我們的毛筆是電子束，在晶片上刻寫電路」。這台設備專攻量子晶片、新型半導體研發的核心環節，它通過高能電子束在矽基上手寫電路，精度達到0.6nm，線寬8nm，可靈活修改設計無須掩膜版，如同用納米級毛筆在晶片上精準作畫，特別適合晶片研發初期的反復調試。

在此之前，此類設備受國際出口管制，中國科學技術大學、之江實驗室等國內頂尖研究機構長期無法採購，「羲之」的問世有望打破這一困局。且其定價低於國際均價，目前已與多家企業及研究機構展開接洽。

《杭州日報》報導指出，「羲之」的成功並非孤例，其背後是科技創新與產業創新「兩新融合」的強力驅動。今年7月，浙江省教育科技人才一體改革專項試點專案，位於餘杭區的「浙江大學校友企業總部經濟園」展開，浙江大學與該園聯手搭建了成果轉化高速路，包括園區企業開出「技術需求清單」，浙大教授帶研究生組隊得標，從實驗室樣品到量產產品，全流程陪跑。